De inspanningen van ERIKS om PFAS te elimineren uit de halfgeleiderindustrie

Spreker: Dr. ir. Dirk Balkenende, R&D Manager ERIKS Sealing & Polymer
Fluorelastomeren, een vorm van PFAS, worden vaak gebruikt voor afdichtings- en dempings-toepassingen in bijvoorbeeld de lithografische machines van ASML. Sommige soorten PFAS – gefluoreerde koolwaterstoffen – hebben een negatieve invloed op het milieu. De EU heeft onlangs wetgeving opgesteld, die momenteel wordt herzien, om alle vormen van PFAS te verbieden. Als één van grootste leveranciers van afdichtings- en rubbertechniek in Europa heeft ERIKS zwaar geïnvesteerd in R&D om alle Fluorelastomeren te vervangen door duurzame alternatieven voor ASML en het Semicon-ecosysteem. In deze presentatie delen we onze vooruitgang op het gebied van PFAS-vrije alternatieve rubbermaterialen met een focus op het afdichten en dempen van trillingen in vacuüm omstandigheden.

Deze lezing is onderdeel van het Up to the Nexxt kennisnetwerk event voor Semicon & High Tech